臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O3）的装置。臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），所以凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在饮用水，污水，工业氧化，食品加工和保鲜，医药合成，空间灭菌等领域广泛应用。臭氧发生器产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置和液体混合参与反应。

一、臭氧发生器原理

1.电晕放式臭氧发生器工作原理：干燥的氧气或含氧气体流过由内电和外电极组成的电晕放电区，放电区内施加数千伏的高频高压电能，将流入放电区的原料气电离生成臭氧。

2.电解式臭氧发生器原理：利用水的电化学氧化法生成臭氧。含有水化荧光阴离子电解质的水中，在近似室温下以高电流功率可将水氧化成臭氧。

二、臭氧发生器电路原理图

  臭氧部分需要控制的参数主要有浓度和流量。流量的实现只需调节相应的调节阀就可以实现，而臭氧浓度则跟许多因素有关，如气源、电源、发生器的结构和冷却方式。在本设计中主要调节臭氧发生器的工作频率，实现对臭氧浓度的调节。

  保持气体流量不变的情况下，调节臭氧发生器逆变电源的输出频率，工作频率改变，则高压放电功率改变，从而实现臭氧浓度的调节。

  本文的臭氧发生器采用介质阻挡电晕放电法来产生臭氧。主要由空气预处理系统、冷却系统、供电电源和放电室、臭氧尾气破坏器系统等四部分组成。本文涉及的臭氧发生器示意图如图所示，即用空气压缩机把空气压入气体净化除湿设备，出来的千燥洁净空气导入臭氧发生管，由高压电源对臭氧发生管供电，在电极间放电，使流过臭氧发生管的空气形成一定浓度的臭氧。由于在电晕放电时，会导致电极和介电体表面温度的升高，因而加速臭氧的分解，所以必须对臭氧发生管进行冷却，以控制管内工作温度在一定范围内。

  早期的臭氧发生器供电系统采用工频直接升压方式，此法的优点是结构简单。但由于工频运行需要高电压峰值才能达到所希望的功率诱导，故绕组的绝缘性能要求高，绕制工艺等较困难。且工频运行时，变压器体积大，纹波、稳定性不能令人满意，臭氧产生效率较低。目前飞速发展的电力电子学用于开关电源技术，使高压电源高频化已成趋势，可以提高到50-100kHz，甚至高达13.56MHz现在工业型臭氧发生器基本采用中高频逆变电源，采用PWM和软开关技术，工作频率一般在400-2000Hz间，较大地提高装置的性能，减小了设备体积。